工業(yè)烤箱設(shè)備是降低柜內(nèi)氧氣含量，進(jìn)行加熱烘烤的干燥設(shè)備。 主要是對(duì)金屬等比較容易氧化的設(shè)備進(jìn)行烘烤，使其干燥固化時(shí)的抗氧化保護(hù)。 我們知道半導(dǎo)體制造可以細(xì)分為前道和后道兩個(gè)工藝步驟。前一工序是加工硅材料制造晶片，通過(guò)步進(jìn)曝光等多個(gè)工序?qū)C設(shè)計(jì)圖案加載到晶片上，制作集成電路； 后工序是將搭載集成電路的晶片分割為基本單元，經(jīng)過(guò)封裝、測(cè)試完成的集成電路產(chǎn)品。工業(yè)烤箱設(shè)備在無(wú)氧分化真空環(huán)境下，氧分壓下降，避免了材料干燥過(guò)程中的氧化變質(zhì)現(xiàn)象，保障了被干燥產(chǎn)品的質(zhì)量，且具有功能齊全、烘烤效果好、使用方便、易于操作等特點(diǎn)，比普通烘箱更適合應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)。

工業(yè)烤箱設(shè)備具備以下特點(diǎn):

1、上下?tīng)t腔可單獨(dú)控溫、通氣、報(bào)警保護(hù)，強(qiáng)制送風(fēng)內(nèi)循環(huán)，確保溫度均勻。

2、控制系統(tǒng)用PLC+人機(jī)界面配合微電腦控制溫控器，帶PID自動(dòng)演算功能以保證箱體溫度均勻性為±1℃。

3、工業(yè)烤箱設(shè)備外材質(zhì)為SPCC鋼板經(jīng)過(guò)蘇打水清洗后粉體烤漆處理，保溫材質(zhì)為高密度纖維棉，保溫效果好。

4、工業(yè)烤箱設(shè)備內(nèi)材質(zhì)用SUS304不銹鋼板,整個(gè)內(nèi)腔用氬弧焊滿焊,防止空氣進(jìn)入烘箱內(nèi)，同時(shí)節(jié)省惰性氣體。

5、可以保存配方，查看溫度曲線，導(dǎo)出升溫?cái)?shù)據(jù)等。

6、配置自動(dòng)充氮?dú)庋b置，與自動(dòng)開(kāi)關(guān)風(fēng)門(mén)進(jìn)行充氮烘烤。

7、根據(jù)使用要求，可以接受定制工業(yè)烤箱設(shè)備。